[发明专利]一种石墨烯高温温度传感器

摘要

本发明涉及高温测试技术领域，具体涉及一种石墨烯高温温度传感器。一种石墨烯高温温度传感器，主要结构包括：纳米膜、互连电极、衬底、密封环、封装外壳、陶瓷基板、引线柱。纳米膜由上下两层氮化硼与夹在其中的石墨烯组成，布置在衬底的下表面，衬底上表面刻蚀出多孔结构以加快热传导，互连电极由互连凸点键合互连焊盘组成，通过引线柱将检测单元与外部相连。采用Pt‑Pt金属键合技术使衬底与陶瓷基板形成真空腔，隔绝了纳米膜与外界的直接接触，为纳米膜提供无氧防护。氮化硼/石墨烯/氮化硼纳米薄膜既是器件的功能材料，又是其结构材料。器件可以长期稳定工作在1700℃的高温，并且耐酸碱、抗腐蚀，适用于各种高温测试环境。

主权项

1.一种石墨烯高温温度传感器，所述温度传感器处于1700℃～2000℃的高温下稳定工作，其特征在于，所述传感器具体包括：至少一个封装外壳，所述封装外壳内部上下两端分别设置有一个陶瓷基板、及一个衬底，所述陶瓷基板、所述衬底及所述封装外壳共同界定一个检测空间；至少一个检测单元，所述检测单元设置在所述检测空间内，所述检测单元包括至少一个氮化硼/石墨烯/氮化硼纳米薄膜、及至少两个金属电极，所述衬底面向所述陶瓷基板的一面设置所述氮化硼/石墨烯/氮化硼纳米薄膜，所述金属电极接设于所述氮化硼/石墨烯/氮化硼纳米薄膜上，并通过衬底传导热量至所述氮化硼/石墨烯/氮化硼纳米薄膜感受外部温度变化。