[发明专利]一种含金属元素的感光性聚合物、组合物及其应用在审
| 申请号： | 201910388391.1 | 申请日： | 2019-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN111913350A | 公开（公告）日： | 2020-11-10 |
| 发明（设计）人： | 邓海;杨振宇;钱晓飞 | 申请（专利权）人： | 珠海雅天科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 俞梁清 |
| 地址： | 519000 广东省珠海市横琴新区环*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
本发明公开了一种含金属元素的感光性聚合物、组合物及其应用，所述感光性聚合物中至少包含以下结构单元：1)能够产生酸性基团的结构单元；2)含有金属离子的结构单元；3)具有鎓盐基团的结构单元，所述结构单元1)、2)、3)的摩尔比为(1～95)：(4～99)：(1～5)。所述感光性组合物包括以下组分：A)上述感光性聚合物；B)溶剂，所述溶剂为环己酮、EL、PGMEA或PGME中的一种或多种混合。所述感光性聚合物或所述感光性组合物可应用于硬化膜或光刻胶的制备中。与现有技术相比，在38～43μC/cm |
||
| 搜索关键词： | 一种 金属元素 感光性 聚合物 组合 及其 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于珠海雅天科技有限公司，未经珠海雅天科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910388391.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种中药组合物在制备治疗腹泻药物中的应用
- 下一篇：自生氧构件和自生氧剂
