[发明专利]基于共沉积外延生长调控蓝磷表面缺陷种类的方法在审

专利信息
申请号: 201910389788.2 申请日: 2019-05-10
公开(公告)号: CN110255525A 公开(公告)日: 2019-09-20
发明(设计)人: 司楠;周德春;蒋艺璇;宋秀峰;牛天超 申请(专利权)人: 南京理工大学
主分类号: C01B32/05 分类号: C01B32/05;C01B25/02;B82Y40/00
代理公司: 南京苏创专利代理事务所(普通合伙) 32273 代理人: 凤婷
地址: 210000 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明提供了一种基于共沉积外延生长调控蓝磷表面缺陷种类的方法,包括如下步骤:首先对Au衬底进行氩离子刻蚀以及退火处理,去除表面的杂质,得到洁净的Au衬底;然后以黑磷为前驱体,在洁净的Au衬底上分子束外延沉积磷原子,并同时沉积C60分子,得到P+C60/Au;最后对P+C60/Au进行逐步升温退火,得到具有明显缺陷的单层蓝磷表面。本发明制得的蓝磷表面具有合适数量的明显缺陷,缺陷密度高、分散性好、分布均匀,使蓝磷表面具有更多的活性位点,且制备过程简单,无有害物质产生,易于制备,生产效率高,适合大规模制备。
搜索关键词: 衬底 表面缺陷 明显缺陷 外延生长 共沉积 沉积 制备 洁净 退火 分子束外延 无有害物质 分散性好 活性位点 生产效率 退火处理 制备过程 逐步升温 磷原子 前驱体 氩离子 调控 单层 黑磷 刻蚀 去除
【主权项】:
1.基于共沉积外延生长调控蓝磷表面缺陷种类的方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤1:对Au衬底进行氩离子刻蚀以及退火处理,去除表面的杂质,得到洁净的Au衬底;步骤2:以黑磷为前驱体,在洁净的Au衬底上分子束外延沉积磷原子,并同时沉积C60分子,得到P+C60/Au;步骤3:对P+C60/Au进行逐步升温退火,得到具有明显缺陷的单层蓝磷表面。
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