[发明专利]湿法刻蚀药液成分检测装置及方法在审
| 申请号： | 201910393251.3 | 申请日： | 2019-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN110132882A | 公开（公告）日： | 2019-08-16 |
| 发明（设计）人： | 王玉伟;顾立勋;苏界 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N21/3577 | 分类号： | G01N21/3577;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京汉之知识产权代理事务所(普通合伙) 11479 | 代理人： | 陈敏 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉市洪山区东*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种湿法刻蚀药液成分检测装置及方法，所述湿法刻蚀药液成分检测装置包括：取样管路，所述取样管路的一端连接至湿法刻蚀设备，用于将所述湿法刻蚀设备中的药液导入所述取样管路中；成分检测器，设置于所述取样管路上，用于对所述取样管路中的所述药液进行成分检测。本发明通过引入取样管路并在所述取样管路上设置成分检测器，实现了对湿法药液成分的实时监测；通过引入红外光谱分析，提高了药液成分检测的精度，使产品良率得到显著提升。 | ||
| 搜索关键词： | 取样管路 成分检测装置 湿法刻蚀 湿法刻蚀设备 成分检测器 成分检测 取样管 红外光谱分析 产品良率 湿法药液 实时监测 一端连接 引入 | ||
【主权项】：
1.一种湿法刻蚀药液成分检测装置，其特征在于，包括：取样管路，所述取样管路的一端连接至湿法刻蚀设备，用于将所述湿法刻蚀设备中的药液导入所述取样管路中；成分检测器，设置于所述取样管路上，用于对所述取样管路中的所述药液进行成分检测。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于长江存储科技有限责任公司，未经长江存储科技有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910393251.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
