[发明专利]一种管状铬靶材的制备方法有效
| 申请号： | 201910397062.3 | 申请日： | 2019-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN109972100B | 公开（公告）日： | 2023-06-06 |
| 发明（设计）人： | 刘慧渊 | 申请（专利权）人： | 无锡飞而康新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B22F3/15;B22F3/24 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 李静 |
| 地址： | 214145 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于靶材制造技术领域，具体涉及一种管状铬靶材的制备方法。所述方法包括过渡层的制备、包套的制备、包套脱气、热等静压、退火处理、机加工等步骤，通过本发明的方法制备得到的管状铬靶材没有裂纹产生、不会发生弯曲变形、致密度＞99％，纯度高，极大的提高了产品的合格率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 管状 铬靶材 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种管状铬靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：过渡层的制备：在背管的外表面喷涂一层过渡层，所述过渡层为纯Ni、NiCr合金或NiCrAl合金层；包套的制备：在上述步骤所得背管的过渡层的一侧形成一个带空腔的包套结构，所述包套结构设置有脱气口；包套脱气：将铬粉填充至上述包套结构的空腔内，进行真空脱气处理；热等静压：在所述背管的内部填充支撑材料，然后进行热等静压处理，使铬粉烧结形成铬管；退火处理:去除背管内部的支撑材料，进行退火处理；机加工：将退火处理后的铬管通过机加工去除包套结构，得到管状铬靶材。
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