[发明专利]剪切量可调的透射式双频激光微分干涉测量装置及方法有效
| 申请号： | 201910398234.9 | 申请日： | 2019-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN110030921B | 公开（公告）日： | 2021-02-02 |
| 发明（设计）人： | 陈强华;孔祥悦;孙启国;吕洪波;何广平;司丽娜;豆照良;祖岩;朱炜;杨延竹;李艳红;柴娟芳 | 申请（专利权）人： | 北方工业大学 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 北京挺立专利事务所(普通合伙) 11265 | 代理人： | 王静思 |
| 地址： | 100144 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种剪切量可调的透射式双频激光微分干涉测量装置及方法。本发明所公开的装置和方法使用两个渥拉斯顿棱镜代替Nomarski棱镜和透镜，移动第二渥拉斯顿棱镜可使光束剪切量在一定范围内可调，以便适应不同情况被测相位物体的测量需求；且采用双频激光作为光源，相干性更强，形成的干涉图案更清晰。 | ||
| 搜索关键词： | 剪切 可调 透射 双频 激光 微分 干涉 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种剪切量可调的透射式双频激光微分干涉测量装置，其特征在于，其包括双频激光器，双频激光器的输出光路上从左到右依次设置有第一渥拉斯顿棱镜、第二渥拉斯顿棱镜、待测样品、第一反射镜，第一反射镜的反射光路从右到左依次经过第二渥拉斯顿棱镜、第一渥拉斯顿棱镜，最终被第二反射镜反射，第二反射镜的反射光路从上到下依次设置有四分之一波片、偏振片和CCD探测器。
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