[发明专利]用于通过调节体调节测量装置的方法、调节体以及用于调节调节体的方法

摘要

本发明涉及一种用于调节测量装置的方法，测量装置包括具有光轴的干涉仪单元、具有测量轴线的光学距离测量装置以及布置在它们之间、可沿滑动轴线移动的支撑滑块。测量装置特别用于球形工件的半径测量。测量轴线，优选地光轴，首先平行于滑动轴线对齐。具有第一球形反射和/或衍射表面和在背面的后向反射器的调节体布置在支撑滑块处。使其进入第一共焦位置，其中第一球形反射和/或衍射表面的第一中心点与从干涉仪单元发射的球形波前的焦点重合。后向反射器限定位于靠近或位于第一中心点上的顶点，使得测量轴线靠近或通过发射的球形波前的焦点延伸。因此，可在随后的球形工件的测量中减少或消除Abbe误差。本发明还涉及一种调节体及其调节方法。

主权项

1.用于调节测量装置（20）的方法，所述测量装置（20）包括：干涉仪单元（22），其具有限定光轴（A）的第一干涉仪并具有物镜（25），具有测量轴线（M）的第一距离测量装置（30），以及布置在所述干涉仪单元（22）和所述光学距离测量装置（30）之间的支撑滑块（32），所述支撑滑块（32）能沿滑动轴线（S）移动，所述方法包括以下步骤：/n- 将所述测量轴线（M）平行于所述滑动轴线（S）对齐，/n- 将工件（21）定位在所述物镜（25）的焦点位于所述工件（21）的表面上的位置中并通过所述干涉仪单元（22）在工件（21）上发射球形波前（Ws），接收在所述工件（21）处反射的球形返回波前（Wr），通过使用所述球形返回波前（Wr）在所述干涉仪单元（22）中产生干涉图案，并使所述物镜（25）相对于所述光轴（A）倾斜，直到所述干涉图案指示所述物镜（26）与所述光轴（A）成直角定向，/n- 提供布置在所述支撑滑块（32）处的调节体（40），所述调节体（40）具有正面（43）和与所述正面（43）相对的背面（44），其中，所述正面（43）面向所述干涉仪单元（22）并且所述背面（44）面向所述光学距离测量装置（30），其中，至少一个球形反射和/或衍射表面（54、55）存在于所述正面（43），以及定义顶点的后向反射器（42）存在于所述背面（44），其中，中心点线（G）延伸通过所述至少一个球形反射和/或衍射表面（54、55）的中心点（P1、P2）和所述顶点（47），/n- 通过所述干涉仪单元（22）将球形波前（Ws）发射到所述至少一个球形反射和/或衍射表面（54、55）上，接收在所述至少一个球形反射或者衍射表面（54、55）处反射的球形返回波前（Wr），并通过使用所述球形返回波前（Wr）在所述干涉仪单元（22）中产生干涉图案，/n- 在共焦位置（K1、K2）中在所述调节体（40）和所述干涉仪单元（22）的物镜（25）之间产生相对运动，在所述共焦位置（K1、K2）中，所述干涉图案指示所述球形反射和/或衍射表面（54、55）的法线和照射在该位置的所述球形波前（Ws）的法线为平行的。/n