[发明专利]柔性连续性磁控溅射沉积镀膜工作腔室隔离方法

摘要

本发明提供一种柔性连续性磁控溅射沉积镀膜工作腔室隔离方法，采用高低真空腔真空度隔离装置，利用高低真空度压力差，将磁控溅射镀膜机的工作腔室物理隔离，有效减少工作气体的流失以维持各个工作腔室的真空度；可广泛应用于连续柔性薄膜显示器、薄膜太阳能电池、柔性调光窗膜、柔性电磁屏蔽膜等成膜的生产制造中。

主权项

1.柔性连续性磁控溅射沉积镀膜工作腔室隔离方法，它具有一个由左右隔板密闭密闭分隔而成放卷腔、镀膜腔、收卷腔的腔体；以惰性气体为工作气体，放卷腔内的放卷台连续释放柔性基带，镀膜腔内的冷鼓为牵引主动轮驱动柔性基带连续移动，收卷腔内的收卷台连续对成膜进行收卷；柔性带材与冷鼓紧密贴合、移动设置在冷鼓和环绕冷鼓设置的磁控溅射装置沉积阴极室之间，其特征是，放卷腔真空度和收卷腔真空度高于镀膜腔真空度；在左右隔板上开设有用于使柔性基带由放卷腔穿行至镀膜腔、使成膜由镀膜腔穿行至收卷腔的穿行窗口，在穿行窗口上设置有位于镀膜腔内的高低真空腔真空度隔离装置，连续移动的柔性基带由放卷腔经穿行窗口、高低真空腔真空度隔离装置穿行至镀膜腔，连续移动的成膜由镀膜腔经高低真空腔真空度隔离装置、穿行窗口穿行至收卷腔；高低真空腔真空度隔离装置包括滚动设置在柔性带材上下两面上的一对常开运行软辊，滚动设置在常开运行软辊和隔板上的一对常闭支撑辊；常开运行软辊和常闭支撑辊的长度不小于穿行窗口的长度，常开运行软辊和常闭支撑辊直径的长度之和不小于穿行窗口的宽度与柔性带材厚度之和的¹／₂。