[发明专利]结晶度检测装置在审
申请号: | 201910402987.2 | 申请日: | 2019-05-15 |
公开(公告)号: | CN110487753A | 公开(公告)日: | 2019-11-22 |
发明(设计)人: | 徐智勳;韩世光;粱炅镐;禹炫朱;郑锡宇 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | G01N21/59 | 分类号: | G01N21/59 |
代理公司: | 11286 北京铭硕知识产权代理有限公司 | 代理人: | 李盛泉;刘灿强<国际申请>=<国际公布> |
地址: | 韩国京畿*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本发明公开一种结晶度检测装置。本发明的结晶度检测装置包括:光源,沿第一方向布置于结晶化的基板的第一侧,并向所述结晶化的基板照射光;摄像元件,布置在相反于所述第一侧的与所述结晶化的基板的第二侧,并拍摄所述结晶化的基板的图像;偏光板,布置于所述结晶化的基板和摄像元件之间,并相对于所述结晶化的基板以第一角度或者第二角度布置;以及控制部,连接在所述摄像元件,测量透过分别以第一角度和第二角度布置时的偏光板的透光率差异。 | ||
搜索关键词: | 结晶化 基板 摄像元件 检测装置 角度布置 结晶度 偏光板 基板照射光 透光率 光源 测量 图像 拍摄 | ||
【主权项】:
1.一种结晶度检测装置,其中,包括:/n光源,沿第一方向布置于结晶化的基板的第一侧,并向所述结晶化的基板照射光;/n摄像元件,沿第一方向布置在相反于所述第一侧的所述结晶化的基板的第二侧,并拍摄所述结晶化的基板的图像;/n偏光板,布置于所述结晶化的基板和摄像元件之间,并相对于所述结晶化的基板以第一角度或者第二角度布置;以及/n控制部,连接在所述摄像元件,测量透过分别以第一角度和第二角度布置时的偏光板的透光率差异。/n
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