[发明专利]沉降式自蔓延硅氮化物反应器有效
申请号: | 201910405660.0 | 申请日: | 2019-05-16 |
公开(公告)号: | CN110156477B | 公开(公告)日: | 2020-07-31 |
发明(设计)人: | 杜文贵;秦军 | 申请(专利权)人: | 宁夏秦氏新材料有限公司 |
主分类号: | C04B35/591 | 分类号: | C04B35/591;C01B21/068 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 张宇园 |
地址: | 753000 宁夏回族自治*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | 一种沉降式自蔓延硅氮化物反应器,其中包括炉体、固料入口、气体入口和出料口,固料入口开设于炉体上部,以引导含硅固料进入炉体内,其中,固料入口上配置有脉冲气动组件,通过脉冲气动方式推进含硅固料进入炉体;气体入口开设于炉体侧部,配置为通入氮气后在炉体内以与含硅固料形成自蔓延反应,反应区域对应为在炉体内的反应区;出料口开设于炉体底部,配置为输出经自蔓延反应后的硅氮化物。本发明的反应器内进行的为自蔓延反应,无需设置加热件对炉体进行加热,可以节省能源。 | ||
搜索关键词: | 沉降 蔓延 氮化物 反应器 | ||
【主权项】:
1.一种沉降式自蔓延硅氮化物反应器,其中包括:炉体;固料入口,开设于炉体上部,以引导含硅固料进入炉体内,其中,所述固料入口上配置有脉冲气动组件,通过脉冲气动方式推进含硅固料进入炉体;气体入口,开设于炉体侧部,配置为通入氮气后在炉体内以与所述含硅固料形成自蔓延反应,反应区域对应为在炉体内的反应区;出料口,开设于炉体底部,配置为输出经自蔓延反应后的硅氮化物。
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