[发明专利]一种磁流变抛光去除函数的提取方法及装置有效

专利信息
申请号: 201910407648.3 申请日: 2019-05-16
公开(公告)号: CN110245317B 公开(公告)日: 2022-03-15
发明(设计)人: 唐才学;温圣林;张远航;颜浩;嵇保建;王翔峰;邓燕;石琦凯;张清华;李昂 申请(专利权)人: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
主分类号: G06F17/10 分类号: G06F17/10;B24B1/00
代理公司: 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 代理人: 曹鹏飞
地址: 621900*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明公开了一种磁流变抛光去除函数的提取方法及装置,该方法包括:获取基片元件采斑前和采斑后的面形检测数据;所述基片元件边缘处带有位置标记;根据所述采斑前、采斑后的面形检测数据及基片元件的位置标记,计算得残差数据;对所述残差数据进行中值滤波处理;对滤波处理后的残差数据,采用椭圆弧逼近去除函数轮廓,生成多个含有相同参数的去除函数;对所述多个含有相同参数的去除函数,执行数据偏移、求平均操作,提取去除函数。该方法能够准确提取磁流变抛光去除函数,提高去除函数准确性与磁流变加工精度。
搜索关键词: 一种 流变 抛光 去除 函数 提取 方法 装置
【主权项】:
1.一种磁流变抛光去除函数的提取方法,其特征在于,包括:获取基片元件采斑前和采斑后的面形检测数据;所述基片元件边缘处带有位置标记;根据所述采斑前、采斑后的面形检测数据及基片元件的位置标记,计算得残差数据;对所述残差数据进行中值滤波处理;对滤波处理后的残差数据,采用椭圆弧逼近去除函数轮廓,生成多个含有相同参数的去除函数;对所述多个含有相同参数的去除函数,执行数据偏移、求平均操作,提取去除函数。
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