[发明专利]一种纳米管状二硫化钼的制备方法在审
申请号: | 201910409692.8 | 申请日: | 2019-05-17 |
公开(公告)号: | CN110104686A | 公开(公告)日: | 2019-08-09 |
发明(设计)人: | 段司航;郭俊宏;王巍 | 申请(专利权)人: | 南京邮电大学 |
主分类号: | C01G39/06 | 分类号: | C01G39/06 |
代理公司: | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人: | 王素琴 |
地址: | 210003 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种纳米管状二硫化钼的制备方法,方法具体采用CVD法进行二硫化钼制备,首先将指定量的S粉放置在CVD管式炉中指定的低温区中心,并将指定量的钼源放置在CVD管式炉中指定的高温区中心,同时将在酒精中经过超声波清洗的硅片放置在不同位置进行制备,其中,可将硅片埋于S粉中,或直接至于钼源正上方,或通过陶瓷块架高后至于钼源正上方;然后,在CVD管式炉中通入指定流速的惰性气体;最后,通过控制CVD管式炉中氩气流速、气压、反应物的量和硅片摆放的位置距离等条件,得到层数较薄、结构规则的纳米管状二硫化钼;本发明制备二硫化钼操作简单,而且成本低廉,效率高,得到的二硫化钼为规则的管状结构。 | ||
搜索关键词: | 二硫化钼 制备 纳米管状 钼源 硅片 超声波清洗 惰性气体 管状结构 硅片放置 结构规则 位置距离 氩气流速 低温区 反应物 高温区 陶瓷块 气压 酒精 摆放 | ||
【主权项】:
1.一种纳米管状二硫化钼的制备方法,其特征在于,所述方法采用CVD法在CVD管式炉中进行,所述方法具体包括:首先,将预定质量的S粉置于所述CVD管式炉中的低温区中心,以及将预定质量的钼源置于所述CVD管式炉中的高温区中心;然后,设定所述CVD管式炉的惰性气体流速;最后,调整硅片的位置、整体的加热时间和加热温度,通过自然降温制备获取得到纳米管状二硫化钼。
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