[发明专利]一种抗冲蚀涂层及其制备方法与应用、工程材料有效
申请号: | 201910410623.9 | 申请日: | 2019-05-17 |
公开(公告)号: | CN110106478B | 公开(公告)日: | 2021-04-09 |
发明(设计)人: | 林松盛;王迪;刘灵云;周克崧;代明江;石倩;郭朝乾;苏一凡;韦春贝;李洪 | 申请(专利权)人: | 广东省新材料研究所 |
主分类号: | C23C14/32 | 分类号: | C23C14/32;C23C14/06 |
代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 覃蛟 |
地址: | 510000 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: |
本发明提供了一种抗冲蚀涂层及其制备方法与应用、工程材料,属于工程材料抗冲蚀防护制造技术领域。该抗冲蚀涂层包括多个层叠设置的周期涂层,每一周期涂层包括由下至上依次层叠设置的CrN |
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搜索关键词: | 一种 冲蚀 涂层 及其 制备 方法 应用 工程 材料 | ||
【主权项】:
1.一种抗冲蚀涂层,其特征在于,所述抗冲蚀涂层包括多个层叠设置的周期涂层,每一所述周期涂层包括由下至上依次层叠设置的CrNx层、CrN层、CryMe(1‑y)Nx层和CryMe(1‑y)N层,其中0<x<1,0.3<y<0.7,Me选自Al、Si和AlSi中的一种;优选地,x为0.3‑0.7;优选地,所述抗冲蚀涂层的硬度为2361HV‑2638HV;优选地,所述抗冲蚀涂层在30°攻角下冲蚀速率为0.028μm/g‑0.053μm/g;优选地,所述抗冲蚀涂层在90°攻角下冲蚀速率为1.417μm/g‑1.732μm/g。
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