[发明专利]基于低温液体冷却的扫描电子显微镜制冷系统及方法在审
| 申请号： | 201910411593.3 | 申请日： | 2019-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN110189973A | 公开（公告）日： | 2019-08-30 |
| 发明（设计）人： | 陈六彪;王俊杰;郭嘉;季伟;顾开选 | 申请（专利权）人： | 中国科学院理化技术研究所 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/26;F25D3/10 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 苗青盛;韩世虹 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及扫描电子显微镜样品台冷却技术领域，提供基于低温液体冷却的扫描电子显微镜制冷系统及方法，该基于低温液体冷却的扫描电子显微镜制冷系统，包括：容器、第一真空腔体和第二真空腔体，还包括样品台、低温冷头以及气源；所述样品台设置于所述容器上，所述低温冷头用于为所述容器提供冷量，所述气源用于为所述容器提供气体，所述低温冷头位于所述第一真空腔体的内部，所述容器和所述样品台位于所述第二真空腔体的内部。该基于低温液体冷却的扫描电子显微镜制冷系统，基于低温液体潜热制冷，在切断低温冷头和容器之间的冷量输送后，系统处于零振动状态，并且样品台能够长时间维持在设定温度，温度波动范围也很小。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描电子显微镜 低温液体 样品台 真空腔体 制冷系统 冷头 冷却 冷量 气源 冷却技术 时间维持 温度波动 零振动 潜热 制冷 | ||
【主权项】：
1.一种基于低温液体冷却的扫描电子显微镜制冷系统，包括：容器、第一真空腔体和第二真空腔体，其特征在于，还包括样品台、低温冷头以及气源；所述样品台设置于所述容器上，所述低温冷头用于为所述容器提供冷量，所述气源用于为所述容器提供气体，所述低温冷头位于所述第一真空腔体的内部，所述容器和所述样品台位于所述第二真空腔体的内部。
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