[发明专利]利用压电物质的电子装置及其制造方法在审
申请号: | 201910413158.4 | 申请日: | 2019-05-17 |
公开(公告)号: | CN110534638A | 公开(公告)日: | 2019-12-03 |
发明(设计)人: | 安范模;朴胜浩;宋台焕 | 申请(专利权)人: | 普因特工程有限公司 |
主分类号: | H01L41/047 | 分类号: | H01L41/047;H01L41/08;H01L41/293 |
代理公司: | 32200 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人: | 汪丽红<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
地址: | 韩国忠淸南道*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本发明涉及一种对三维形状具有高识别精确度且具有改善的耐久性的利用压电物质的电子装置及其制造方法。 | ||
搜索关键词: | 电子装置 三维形状 压电物质 制造 | ||
【主权项】:
1.一种利用压电物质的电子装置,其特征在于,包括:/n阳极氧化膜;/n第一电极,形成到所述阳极氧化膜的上部;/n第二电极,形成到所述阳极氧化膜的下部;以及/n压电性柱部,形成到所述第一电极与第二电极之间,包括压电物质。/n
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