[发明专利]一种基于MEMS微振镜和光栅的微型光谱成像装置在审
| 申请号： | 201910413641.2 | 申请日： | 2019-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN110095187A | 公开（公告）日： | 2019-08-06 |
| 发明（设计）人： | 张瑞;王志斌;李孟委;李克武;赵宏波;解琨阳 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01J3/06 | 分类号： | G01J3/06;G01J3/02;G01J3/28 |
| 代理公司： | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人： | 申绍中 |
| 地址： | 030051 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明属于光谱成像装置技术领域，具体涉及一种基于MEMS微振镜和光栅的微型光谱成像装置，包括依次设置的MEMS二维扫描振镜、MEMS一维扫描振镜和高速光电点探测器，所述MEMS一维扫描振镜上设有光栅；目标光依次经过MEMS二维扫描振镜和MEMS一维扫描振镜后被高速光电点探测器探测，通过MEMS二维扫描振镜进行二维扫描，通过带光栅的MEMS一维扫描振镜进行光谱扫描，结合高速光电点探测器实现光谱成像。该装置无需阵列探测器和复杂的光学系统就可实现对被测目标的光谱成像多维信息测量，该系统具有体积小、结构简单、功耗小、稳定性好的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 光栅 一维扫描 振镜 二维扫描振镜 光谱成像装置 点探测器 光谱成像 微振 阵列探测器 被测目标 多维信息 二维扫描 光谱扫描 光学系统 依次设置 体积小 功耗 探测 测量 | ||
【主权项】：
1.一种基于MEMS微振镜和光栅的微型光谱成像装置，其特征在于：包括依次设置的MEMS二维扫描振镜（1）、MEMS一维扫描振镜（3）和高速光电点探测器（5），所述MEMS一维扫描振镜（3）上设有光栅；目标光依次经过MEMS二维扫描振镜（1）和MEMS一维扫描振镜（3）后被高速光电点探测器（5）探测，通过MEMS二维扫描振镜（1）进行二维扫描，通过带光栅的MEMS一维扫描振镜（3）进行光谱扫描，结合高速光电点探测器（5）实现光谱成像。
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