[发明专利]一种多光子聚合三维纳米直写的运动定位系统在审
| 申请号： | 201910414791.5 | 申请日： | 2019-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN110253137A | 公开（公告）日： | 2019-09-20 |
| 发明（设计）人： | 汤晖;张桂鑫;潘皓宇;李烁;廖智燊;杨依明;郭晓晖;苏宇俊;陈桪 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | B23K26/08 | 分类号： | B23K26/08;B23K26/70 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 林丽明 |
| 地址： | 510006 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种多光子聚合三维纳米直写的运动定位系统。包括XY宏动运动装置、移动平台以及激光偏摆装置，XY宏动运动装置能够驱动移动平台沿X轴和Y轴方向移动；还包括减振微动平台，减震微动平台包括XY轴微动模块和Z轴微动模块，Z轴微动模块的一端与移动平台连接，另一端与XY轴微动模块连接；激光偏摆装置包括用于安装激光偏摆装置的固定板、第一减振机构、柔性放大机构和偏摆镜，柔性放大机构的一端与偏摆镜的底座连接，另一端与第一减振机构连接，第一减振机构的另一端与固定板连接；柔性放大机构内设有第一压电陶瓷；柔性放大机构设有多组，多组柔性放大机构相互配合驱动偏摆镜摆动。本发明能够有效的提高定位的精确度。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性放大机构 微动 减振机构 偏摆装置 移动平台 偏摆镜 运动定位系统 激光 微动平台 运动装置 光子 直写 聚合 三维 减震 固定板连接 驱动 底座连接 模块连接 压电陶瓷 固定板 摆动 减振 配合 | ||
【主权项】：
1.一种多光子聚合三维纳米直写的运动定位系统，包括XY宏动运动装置(1)、移动平台(2)以及激光偏摆装置(3)，所述的移动平台(2)与XY宏动运动装置(1)连接，XY宏动运动装置(1)能够驱动移动平台(2)沿X轴和Y轴方向移动；所述的激光偏摆装置(3)位于XY宏动运动装置(1)上方用于驱动偏摆镜(34)运动；其特征在于，还包括减振微动平台(4)，所述的减振微动平台(4)包括XY轴微动模块和Z轴微动模块(41)，所述的Z轴微动模块(41)的一端与移动平台(2)连接，另一端与XY轴微动模块连接，待加工的产品位于XY轴微动模块上；所述的激光偏摆装置(3)包括用于安装激光偏摆装置(3)的固定板(31)、第一减振机构(32)、柔性放大机构(33)和偏摆镜(34)，柔性放大机构(33)的一端与偏摆镜(34)的底座连接，另一端与第一减振机构(32)连接，第一减振机构(32)的另一端与固定板(31)连接；所述的柔性放大机构(33)内设有第一压电陶瓷(35)；所述的柔性放大机构(33)设有多组，多组柔性放大机构(33)相互配合驱动偏摆镜(34)摆动。
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