[发明专利]掩膜板装置及其设置方法与应用方法在审
| 申请号： | 201910414977.0 | 申请日： | 2019-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN110158027A | 公开（公告）日： | 2019-08-23 |
| 发明（设计）人： | 马昆松 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种掩膜板装置及其设置方法与应用方法，所述掩膜板装置包括框架、支撑架、安装柱、磁性片及磁性板。所述掩膜板装置的设置方法包括框架提供步骤、支撑架安装步骤、安装柱设置步骤、磁性片设置步骤及磁性板设置步骤。本发明的技术效果在于，掩膜板装置可适用于蒸镀不同尺寸的产品，无需张网工艺，节约成本，提高成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜板 安装柱 磁性板 磁性片 支撑架 技术效果 成品率 张网 蒸镀 应用 节约 | ||
【主权项】：
1.一种掩膜板装置，其特征在于，包括：框架；支撑架，被安装至所述框架；至少一安装柱，突出于所述支撑架远离所述框架一侧的表面；至少一磁性片，每一磁性片的中部连接至一安装柱的顶部；以及磁性板，与所述支撑架相对设置，所述磁性板与所述支撑架分别位于所述磁性片的两侧。
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