[发明专利]双光路激光装置、电池片加工设备及其控制方法在审
| 申请号： | 201910415056.6 | 申请日： | 2019-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN110052702A | 公开（公告）日： | 2019-07-26 |
| 发明（设计）人： | 罗搏飞;冼志军;周志豪 | 申请（专利权）人： | 常州捷佳创智能装备有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/00 | 分类号： | B23K26/00;B23K26/067;B23K26/70 |
| 代理公司： | 深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247 | 代理人： | 尹彦;胡朝阳 |
| 地址： | 213000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了双光路激光装置、电池片加工设备及其控制方法，其中双光路激光装置包括激光器（1），所述激光器发射的激光束经过转轴振镜（8）择一反射到A光路或B光路中，并通过两条光路轮流射向两个加工平台；所述A光路和B光路结构相同、皆包括第一反射镜（2）、第二反射镜（3）、扩束和整形器（4）、扫描振镜（5）和场镜（9）；所述激光束经第一和第二反射镜的反射、再经过扩束和整形器、扫描振镜和场镜射向加工平台；本专用一个激光器发出的激光束通过两条光路轮流射向两个加工平台，轮流加工位于两个加工平台上的晶圆，降低了整套设备的总成本，减少激光加工等待的时间，提升激光的使用率，增加激光设备产能至8000‑8500片每小时。 | ||
| 搜索关键词： | 加工平台 激光装置 反射镜 激光束 双光路 光路 加工设备 两条光路 扫描振镜 激光器 电池片 整形器 轮流 场镜 扩束 反射 激光器发射 光路结构 激光加工 激光设备 整套设备 总成本 使用率 产能 晶圆 振镜 转轴 激光 加工 | ||
【主权项】：
1.一种双光路激光装置，包括激光器（1），其特征在于，所述激光器发射的激光束经过转轴振镜（8）择一反射到A光路或B光路中，并通过两条光路轮流射向两个加工平台；所述A光路和B光路结构相同、皆包括第一反射镜（2）、第二反射镜（3）、扩束和整形器（4）、扫描振镜（5）和场镜（9）；所述激光束经第一和第二反射镜的反射、再经过扩束和整形器、扫描振镜和场镜射向加工平台；工控机控制所述激光器、转轴振镜和扫描振镜工作。
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