[发明专利]用于全固态锂离子电池电解质膜的制备方法及电解质膜

摘要

本发明公开了一种用于全固态锂离子电池电解质膜的制备方法，包括如下步骤：提供Si衬底；制备Li2O和TiO2的混合物靶材，并在混合物靶材上贴敷La2O3片，在Si上沉积LiLaTiO层；以Li3PO4为靶材，利用反应磁控溅射，在LiLaTiO层上沉积第一LiPON层；以Li3PO4为靶材，利用反应磁控溅射，在第一LiPON层上沉积第二LiPON层；制备Li3PO4与Si3N4的第一混合物靶材；以Li3PO4与Si3N4的第一混合物靶材，利用磁控溅射，在第二LiPON层上沉积第一LiSiPON层；制备Li3PO4与Si3N4的第二混合物靶材；以及制备Li3PO4与Si3N4的第二混合物靶材，利用磁控溅射，在第一LiPON层上沉积第二LiSiPON层。本发明通过晶格结构的渐变设计，达到了较好的能带结构，提高了材料电导率性能，最终能够显著提高全固态锂离子电池的性能。

主权项

1.一种用于全固态锂离子电池电解质膜的制备方法，其特征在于：所述制备方法包括如下步骤：提供Si衬底；制备Li₂O和TiO₂的混合物靶材；在所述Li₂O和TiO₂的混合物靶材上贴敷La₂O₃片，利用磁控溅射，在所述Si上沉积LiLaTiO层；以Li₃PO₄为靶材，利用反应磁控溅射，在所述LiLaTiO层上沉积第一LiPON层；以Li₃PO₄为靶材，利用反应磁控溅射，在所述第一LiPON层上沉积第二LiPON层；制备Li₃PO₄与Si₃N₄的第一混合物靶材；以Li₃PO₄与Si₃N₄的第一混合物靶材，利用磁控溅射，在所述第二LiPON层上沉积第一LiSiPON层；制备Li₃PO₄与Si₃N₄的第二混合物靶材；以及制备Li₃PO₄与Si₃N₄的第二混合物靶材，利用磁控溅射，在所述第一LiPON层上沉积第二LiSiPON层。