[发明专利]一种线缆牵拉刚度的调节装置及光刻机

摘要

本发明公开了一种线缆牵拉刚度的调节装置及光刻机。所述线缆牵拉刚度的调节装置包括：线缆张紧单元、线缆支架、振动检测传感器以及控制器；其中，控制器与线缆张紧单元以及振动检测传感器连接；线缆张紧单元位于固定台的支撑面上，线缆支架位于运动台的支撑面上，固定台和运动台相距预设距离设置；线缆张紧单元和线缆支架共同支撑多条线缆，多条线缆与线缆支架固定连接；振动检测传感器安装于运动台的支撑面上。本发明实施例提供的技术方案，减小了多条线缆的牵拉刚度，降低了固定台侧的振动通过多条线缆传递至运动台侧的几率，提升了运动台侧整体结构的稳定性。