[发明专利]具有悬置结构的MEMS设备及制造MEMS设备的方法有效
| 申请号： | 201910422740.7 | 申请日： | 2019-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN110510567B | 公开（公告）日： | 2023-06-16 |
| 发明（设计）人： | S·G·阿尔伯特;F·M·达勒;M·E·亨内克;H·范利罗普 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81B7/02;B81C1/00;G02B26/08 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 郑立柱;张昊 |
| 地址： | 德国诺伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开涉及具有悬置结构的MEMS设备及制造MEMS设备的方法。例如，一种MEMS设备，包括围绕枢轴枢转的本体、支持件和将本体机械地耦合至支持件的悬置结构。悬置结构包括限定枢轴的扭转元件以及第一和第二弹簧元件，第一和第二弹簧元件在扭转元件的相对侧上以相对于枢轴的角度延伸，使得第一和第二弹簧元件的至少部分之间的距离在枢轴方向上改变。第一和第二弹簧元件在枢轴的方向上的延伸大于扭转元件在枢轴的方向上的延伸。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 悬置 结构 mems 设备 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS设备，包括：/n本体，围绕枢轴枢转；/n支持件；以及/n悬置结构，将所述本体机械地耦合至所述支持件，/n其中所述悬置结构包括限定所述枢轴的扭转元件以及第一弹簧元件和第二弹簧元件，所述第一弹簧元件和所述第二弹簧元件在所述扭转元件的相对侧上以相对于所述枢轴的角度延伸，使得所述第一弹簧元件和所述第二弹簧元件的至少部分之间的距离在所述枢轴的方向上改变，并且/n其中所述第一弹簧元件和所述第二弹簧元件在所述枢轴的方向上的延伸大于所述扭转元件在所述枢轴的方向上的延伸。/n
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