[发明专利]正交误差补偿电路、MEMS传感器读出装置以及MEMS传感器系统在审
| 申请号： | 201910424448.9 | 申请日： | 2019-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN110146066A | 公开（公告）日： | 2019-08-20 |
| 发明（设计）人： | 邹波;刘孟良 | 申请（专利权）人： | 深迪半导体（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/5776 | 分类号： | G01C19/5776 |
| 代理公司： | 上海智晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31313 | 代理人： | 杨飞 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区自由*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种正交误差补偿电路、MEMS传感器读出装置以及MEMS传感器系统，所述正交误差补偿电路包括两个电荷提供单元，每个所述电荷提供单元对应向MEMS传感器的一个检测电极提供补偿电荷，所述补偿电荷与所述MEMS传感器的正交误差引起的误差电荷相互抵消。本发明提供的正交误差补偿电路、MEMS传感器读出装置以及MEMS传感器系统，可以消除所述MEMS传感器的正交误差干扰，实现利用信号处理过程补偿工艺误差的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 正交误差补偿 读出装置 电路 电荷提供单元 补偿电荷 正交误差 信号处理过程 工艺误差 检测电极 误差电荷 抵消 | ||
【主权项】：
1.一种正交误差补偿电路，用于补偿MEMS传感器的正交误差，所述MEMS传感器包括两个检测电极，其特征在于，包括两个电荷提供单元；每个所述电荷提供单元对应向一个所述检测电极提供补偿电荷，所述补偿电荷与所述正交误差引起的误差电荷相互抵消。
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