[发明专利]全自动真空共晶设备在审
申请号: | 201910424791.3 | 申请日: | 2019-05-21 |
公开(公告)号: | CN110335930A | 公开(公告)日: | 2019-10-15 |
发明(设计)人: | 秦启洋;欧昌荣;赵轶 | 申请(专利权)人: | 秦启洋;欧昌荣;赵轶 |
主分类号: | H01L33/48 | 分类号: | H01L33/48 |
代理公司: | 厦门市新华专利商标代理有限公司 35203 | 代理人: | 周黎阳;徐勋夫 |
地址: | 425700 湖南*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本发明公开一种全自动真空共晶设备,包括机架、安装于机架上用于运送待加工板材的进板装置、用于对板材进行抽真空并充氮气的抽真空充氮装置以及用于将板材由抽真空充氮装置处运出的出板装置;该进板装置、抽真空充氮装置和出板装置依次相连。该共晶设备具有独立温区,阶梯式加热,精确控温,延长了产品使用寿命;并且采用流动式送料,移动平稳无噪声,板材上料和下料自动化,减少了人工劳动量,共晶效率高。并对板材抽真空充氮气,密封性好,可使晶体和板材结合更紧密,无氧化现象,提高了产品质量。 | ||
搜索关键词: | 共晶 抽真空充氮装置 出板装置 进板装置 充氮气 抽真空 阶梯式加热 人工劳动量 产品使用 密封性好 氧化现象 依次相连 流动式 无噪声 控温 上料 送料 温区 下料 自动化 运送 移动 加工 | ||
【主权项】:
1.一种全自动真空共晶设备,其特征在于:包括有机架、安装于机架上用于运送待加工板材的进板装置、用于对板材进行抽真空并充氮气的抽真空充氮装置以及用于将板材由抽真空充氮装置处运出的出板装置;该进板装置、抽真空充氮装置和出板装置依次相连;该机架上设置有工作台,上述进板装置、抽真空充氮装置和出板装置均安装于该工作台上;该进板装置包括有支架、复数个载物台、复数个用于托载板材并向前转移的移动托杆、用于带动复数个移动托杆向前移动的平移机构以及用于驱动平移机构升降浮动以转移板材的升降机构,该支架横向安装于上述工作台上;该复数个载物台横向间隔安装于支架上,该进板装置中每个载物台中均设置有用于对板材加热并可独立控温的加热模块;该复数个移动托杆间隔式位于复数个载物台两侧;该平移机构位于支架下方,其具有可前后滑动的滑动块,该滑动块与复数个移动托杆相固连;该升降机构位于平移机构下方,其具有可前后滑动的滑动块,该滑动块与平移机构活动连接;该抽真空充氮装置包括有支撑架、上腔体、下腔体、用于驱动上腔体和下腔体合拢以形成密闭空间的开闭驱动机构以及真空充氮罐体,该支撑架安装于工作台上,并位于上述支架尾端;该上腔体可升降式安装于支撑架上;该下腔体固定于工作台上,并与上腔体竖向正对,于下腔体中竖向设置有一抽真空充氮平台,该抽真空充氮平台与进板装置之载物台齐平,上腔体位于该抽真空充氮平台上方;该开闭驱动机构安装于工作台上,并与上腔体相连;该真空充氮罐体位于机架底部,并与下腔体相连;该出板装置分别包括有支架、复数个载物台、复数个用于托载板材并向前转移的移动托杆、用于带动复数个移动托杆向前移动的平移机构以及用于驱动平移机构升降浮动的升降机构,该支架横向安装于上述工作台上,并位于上述支撑架侧旁;该复数个载物台横向间隔安装于支架上,并与进板装置之载物台和抽真空充氮平台位列一排;该复数个移动托杆间隔式位于复数个载物台两侧;该平移机构位于支架下方,其具有可前后滑动的滑动块,该滑动块与复数个移动托杆相固连;该升降机构位于平移机构下方,其具有可前后滑动的滑动块,该滑动块与平移机构活动连接。
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