[发明专利]一种产品检测收料装置及方法

摘要

本发明涉及半导体生产技术领域，提供一种产品检测收料装置及方法，装置包括机架、脱模台、检测机构以及收料机构；检测机构包括滑轨、检测安装架、检测部驱动单元、传输链、驱动传输链传输的传输电机、均布设置于传输链上的若干料片夹具、上CCD检测相机、下CCD检测相机以及设置于传输链一侧的第一传感器。外部机器人将产品搬运至脱模台，产品包括载料夹具和设置于上料夹具中封装后的半导体料片，然后机器人将载料夹具的盖板取走，再将机器人的输出端转换成抓料夹具，抓料夹具将半导体料片抓起，放置于检测机构上，检测机构对半导体料片的两面检测后，收料机构将产品下料，实现了产品的自动化检测及出料。

主权项

1.一种产品检测收料装置，其特征在于：包括机架、设置于所述机架一端的脱模台、设置于所述机架中部的检测机构以及设置于所述机架另一端的收料机构；所述检测机构包括设置于所述机架上的滑轨、与所述滑轨滑动配合的检测安装架、驱动所述检测安装架沿所述滑轨移动的检测部驱动单元、设置于所述检测安装架上的传输链、驱动所述传输链传输的传输电机、均布设置于所述传输链上的若干料片夹具、设置于所述传输链上方的上CCD检测相机、设置于所述检测部传输链下方的下CCD检测相机以及设置于所述传输链一侧的第一传感器，所述传输链沿所述脱模台至所述收料机构的方向设置，所述滑轨与所述传输链垂直。