[发明专利]用于物体的粒子光学检查的粒子束系统和方法

摘要

本发明涉及一种粒子束系统。该粒子束系统具有多粒子束发生器，其被配置成产生多条部分粒子束，部分粒子束在空间上间隔开，至少包括第一部分粒子束和第二部分粒子束。该粒子束系统具有透镜，其被配置成用于使入射的部分粒子束聚焦在第一平面中，使得该第一平面中该第一部分粒子束撞击的第一区域与该第二部分粒子束撞击的第二区是分开的。该粒子束系统包括具有多个检测区的检测器系统和投射系统，该投射系统被配置成将交互产物投射到检测器系统上。投射系统和多个检测区相匹配，使得源自该第一平面的第一区的交互产物被投射到第一检测区上，而源自第一平面的第二区的交互产物被投射到与第一检测区不同的第二检测区上。该检测器系统包括过滤器装置。

主权项

1.一种粒子束系统，包括：粒子源，该粒子源被配置成用于产生第一带电粒子束；多粒子束发生器，该多粒子束发生器被配置成用于从第一入射带电粒子束中产生多条部分粒子束，这些部分粒子束在空间上在垂直于这些部分粒子束的传播方向的方向上间隔开，这多条部分粒子束至少包括第一部分粒子束和第二部分粒子束，物镜，该物镜被配置成用于使入射的部分粒子束聚焦在第一平面中，其方式为使得该第一部分粒子束在该第一平面中入射在其上的第一区域与第二部分粒子束入射在其上的第二区域分开，以及检测器系统，该检测器系统包括投射系统和多个检测区域，其中：该投射系统被配置成用于将由于这些入射的部分粒子束而离开该第一平面的交互产物投射到该多个检测区域上，该投射系统和该多个检测区域彼此匹配，其方式为使得来自该第一平面的该第一区域的交互产物投射到该检测器系统的第一检测区域上，而来自该第一平面的该第二区域的交互产物投射到第二检测区域上，该第二检测区域至少部分不同于该第一检测区域，该多个检测区域被配置成使得多个第一检测场与该第一检测区域相关联并且多个第二检测场与该第二检测检测区域相关联，对于各个第一检测场，该第一检测场被配置成以独立于在其他检测场上入射的交互产物的方式检测入射在对应的第一检测场上的交互产物，对于各个第二检测场，该第二检测场被配置成以独立于在其他检测场上入射的交互产物的方式检测入射在对应的第二检测场上的交互产物，该粒子束系统另外包括控制器，该控制器被实施成用于从相关联的检测区域的这多个第一检测场和第二检测场分开地读出检测器信号并对其加以处理，该控制器被配置成用于分析来自相关联的检测区域的这多个检测场的检测器信号，以及该控制器被配置成用于以下中的至少一个：基于该检测器信号的分析结果确定样品电荷效应，基于该检测器信号的分析确定交互产物的强度分布与预期位置的位移，基于该检测器信号的分析确定交互产物的强度分布与交互产物的预期分布的偏差，以及基于该检测器信号的分析确定所述带电粒子束系统的重新调整信号。