[发明专利]彩膜曝光机在审
| 申请号： | 201910427169.8 | 申请日： | 2019-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN110058498A | 公开（公告）日： | 2019-07-26 |
| 发明（设计）人： | 张静 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种彩膜曝光机，该彩膜曝光机包括承载机台、传送构件、异物检测构件、搬运构件、曝光构件、温度调控构件，承载机台用于承载彩膜基板，传送构件用于传送彩膜基板，异物检测构件用于检测彩膜基板上的异物，搬运构件从异物检测构件搬运彩膜基板到曝光构件，温度调控构件包括温控管道，温控管道至少设置在搬运构件设置区；在彩膜曝光机工作时，温度调控构件通过温控管道调控搬运构件处的温度，解决了现有技术存在搬运构件处的温度调节不佳的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 搬运构件 彩膜基板 曝光机 彩膜 温度调控 温控管道 异物检测 机台 传送构件 曝光构件 承载 温度调节 设置区 异物 搬运 传送 调控 检测 | ||
【主权项】：
1.一种彩膜曝光机，其特征在于，包括：承载机台，用于承载彩膜基板；传送构件，用于传送彩膜基板；异物检测构件，用于检测彩膜基板上的异物；搬运构件，用于从异物检测构件搬运彩膜基板到曝光构件；曝光构件；温度调控构件，包括温控管道，所述温控管道至少设置在搬运构件设置区。
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