[发明专利]光学部件的清洗方法以及清洗装置有效
| 申请号： | 201910428408.1 | 申请日： | 2019-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN110523714B | 公开（公告）日： | 2022-11-01 |
| 发明（设计）人： | 田中利享;小山哲史;松尾和秀;宫坂慎一 | 申请（专利权）人： | 本田技研工业株式会社 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 陈伟;孙明轩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光学部件的清洗方法和清洗装置，其能够与外部空气的湿度无关地，通过UV灰化来有效地去除附着在光学部件表面的有机物。在本实施方式的基于UV灰化进行的光学部件的清洗方法中，供给进行了湿度管理的加湿气体，同时对防护玻璃(44)的表面照射紫外线而去除该防护玻璃(44)的表面的有机物。另外，在本实施方式的清洗方法中，加湿气体以使清洗中的激光头(40)内的湿度成为30％～90％的方式供给。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 部件 清洗 方法 以及 装置 | ||
【主权项】：
1.一种光学部件的清洗方法，通过UV灰化而将光学部件的表面的有机物去除，其特征在于，供给进行了湿度管理的加湿气体，并对所述光学部件的表面照射紫外线来进行基于UV灰化的清洗。/n
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