[发明专利]一种高熵非晶薄膜及制备方法和应用

摘要

本发明通过在等原子比的CoCrFeMnNi中引入非金属元素N，磁控溅射法制得了化学组成及原子比为CoCrFeMnNiN(0.35～0.75)的高熵合金薄膜，通过本发明方法制得的高熵合金薄膜为非晶态结构，其硬度值可达14～18GPa，弹性模量可达170～190GPa，疲劳寿命大于12×104周次；制备的高熵非晶薄膜分别在36～38％浓盐酸(wt％)和98％浓硫酸(wt％)浸泡180天表面无变化；引入N元素后不仅使硬度、弹性模量和疲劳寿命在一定程度上提高，还具有很好的耐腐蚀性，能够应用于工业设备特别是盐酸合成炉设备的零部件表面。

主权项

1.一种高熵非晶薄膜，其特征在于，以等原子比的CoCrFeMnNi合金为靶材，通过磁控溅射引入非金属元素N，得到了化学组成及Co、Cr、Fe、Mn、Ni、N元素原子比为1:1:1:1:1:(0.35～0.75)的CoCrFeMnNiN_{(0.35～0.75)}高熵合金薄膜，所述高熵合金薄膜是非晶态结构的高熵非晶薄膜。