[发明专利]一种浸泡喷淋刻蚀方法及设备有效
| 申请号： | 201910429642.6 | 申请日： | 2019-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN111977642B | 公开（公告）日： | 2023-01-10 |
| 发明（设计）人： | 李涛;刘海滨;茅丹;张娟娟 | 申请（专利权）人： | 无锡格菲电子薄膜科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B32/186 | 分类号： | C01B32/186;C23F1/18 |
| 代理公司： | 北京世衡知识产权代理事务所(普通合伙) 11686 | 代理人： | 肖淑芳 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市惠山经*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种浸泡喷淋刻蚀方法及浸泡喷淋刻蚀设备，所述浸泡喷淋刻蚀方法包括：先将生长有石墨烯的基底具有需要留存的石墨烯薄膜的一面覆盖一层保护膜；再加入到流动的刻蚀药液中刻蚀基底，形成保护膜/石墨烯。所述浸泡喷淋刻蚀设备包括刻蚀装置、配液装置、出液管和补液管，所述刻蚀装置包括刻蚀槽，所述配液装置包括配液槽，所述出液管连通所述刻蚀槽的底部和所述配液槽的底部，用于药液从刻蚀槽底部流向配液槽底部，所述补液管连通所述刻蚀装置和配液装置，用于药液从配液装置流向刻蚀装置。本发明提供的方法及设备能使基底刻蚀速率均衡，保证石墨烯方阻的均匀和良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 浸泡 喷淋 刻蚀 方法 设备 | ||
【主权项】：
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