[发明专利]蒸镀装置及其驱动组件的控制方法有效
| 申请号： | 201910429999.4 | 申请日： | 2019-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN110106475B | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 汪国杰 | 申请（专利权）人： | TCL华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种蒸镀装置，包括：加热装置、坩埚以及多个喷嘴；其中，所述加热装置设置在所述坩埚的下面，对所述坩埚进行蒸镀、加热；所述坩埚设置在所述加热装置与所述喷嘴之间，用于盛放蒸镀材料；多个所述喷嘴等间距的设置在所述坩埚的上表面；其有益效果包括：首先，通过将蒸镀装置中的喷嘴设置成等间距排列，改善了蒸镀装置蒸镀薄膜时均一性差的问题；其次，通过对所述喷嘴上的遮挡板的控制，进一步地保证所述蒸镀薄膜的均一性。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 及其 驱动 组件 控制 方法 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：加热装置、坩埚以及多个喷嘴；其中，所述加热装置正对于所述坩埚进行设置；所述坩埚设置在所述加热装置与所述喷嘴之间，用于盛放蒸镀材料；多个所述喷嘴等间距的设置在所述坩埚背离所述加热装置的表面。
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