[发明专利]多晶硅棒在审
| 申请号： | 201910431751.1 | 申请日： | 2019-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN110550634A | 公开（公告）日： | 2019-12-10 |
| 发明（设计）人： | 星野成大;祢津茂义;冈田哲郎;石田昌彦 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035 |
| 代理公司： | 11219 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 穆德骏;安翔 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供适合作为单晶硅制造用原料的多晶硅棒。从由西门子法培育出的多晶硅棒中采集晶片(评价试样)，筛选出粒径为100nm以下的大小的晶粒以面积比例计占3％以上的多晶硅棒作为单晶硅制造用原料。使用这种多晶硅棒作为原料并通过FZ法来培育单晶硅时，可显著抑制位错的发生。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶硅棒 单晶硅 晶粒 西门子法 晶片 粒径 位错 培育 制造 采集 筛选 | ||
【主权项】：
1.一种多晶硅棒，其是通过西门子法培育出的多晶硅棒，其特征在于，/n在从除硅芯线部分以外的区域采集晶片并进行评价的情况下，粒径为100nm以下的大小的晶粒以面积比例计占3％以上。/n
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