[发明专利]蚀刻剂组合物和硅烷化合物有效
| 申请号： | 201910433994.9 | 申请日： | 2019-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN110527512B | 公开（公告）日： | 2022-09-13 |
| 发明（设计）人： | 金喆禹;李帝豪;咸珍守;郭宰熏;李宗昊 | 申请（专利权）人： | SK新技术株式会社;SK株式会社 |
| 主分类号： | C09K13/06 | 分类号： | C09K13/06;C07F7/18;C07F9/50;C07F9/6596;C07F9/53 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 安玉;蒋洪之 |
| 地址： | 韩国首*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
一种蚀刻剂组合物，其包括磷酸和由以下化学式1表示的硅烷化合物：[化学式1] |
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| 搜索关键词： | 蚀刻 组合 硅烷 化合物 | ||
【主权项】：
1.一种蚀刻剂组合物，其包括：磷酸和由以下化学式1表示的硅烷化合物：/n[化学式1]/n
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