[发明专利]状态期间的子脉冲在审
| 申请号： | 201910434407.8 | 申请日： | 2015-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN110474621A | 公开（公告）日： | 2019-11-19 |
| 发明（设计）人： | 约翰·C·小瓦尔考;哈梅特·辛格;布拉德福德·J·林达克尔 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H03K3/36 | 分类号： | H03K3/36;H01J37/36 |
| 代理公司： | 31263 上海胜康律师事务所 | 代理人： | 樊英如;邱晓敏<国际申请>=<国际公布> |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及状态期间的子脉冲，描述了一种用于在状态期间实现子脉冲的方法。所述方法包括：从时钟源接收时钟信号，所述时钟信号具有两个状态；并且从所述时钟信号产生脉冲信号。所述脉冲信号在所述状态之一内具有子状态。所述子状态以大于所述状态的频率的频率彼此相对交替。所述方法包括提供所述脉冲信号以控制由射频发生器产生的射频(RF)信号的功率。所述功率被控制成与所述脉冲信号同步。 | ||
| 搜索关键词： | 脉冲信号 射频( RF )信号 子脉冲 子状态 时钟信号产生 射频发生器 彼此相对 接收时钟 时钟信号 时钟源 | ||
【主权项】：
1.一种控制器，其包括：/n处理器，所述处理器被配置为产生脉冲信号，所述脉冲信号在第一状态内具有子状态并且在第二状态内具有子状态，所述第一状态的子状态以大于所述第一状态和第二状态的频率的频率彼此相对交替，所述第二状态的子状态以大于所述第一状态和第二状态的频率的频率彼此相对交替，/n其中，所述处理器被配置为提供所述脉冲信号以控制由射频(RF)发生器产生的射频(RF)信号的功率，其中，所述RF信号的功率被控制成与所述脉冲信号同步以具有所述第一状态的子状态和所述第二状态的子状态；以及/n存储设备，所述存储设备耦合至所述处理器。/n
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