[发明专利]微波源进气装置及半导体工艺设备在审
| 申请号： | 201910434857.7 | 申请日： | 2019-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN111986971A | 公开（公告）日： | 2020-11-24 |
| 发明（设计）人： | 袁志涛;韩炜 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供的微波源进气装置及半导体加工设备，包括管路组件和多个流量控制结构，管路组件包括主路管路和多条支路管路，多条支路管路分别与主路管路连接，多个流量控制结构一一对应的设置在多条支路管路上，用于增大各个支路管路的流阻，以使各个支路管路的流量一致。通过设置多个流量控制结构，同时增大每个支路管路的流阻，以最大程度地降低因支路管路间的差异而造成的流阻不同，从而提高各个支路管路的流量一致性。 | ||
| 搜索关键词： | 微波 源进气 装置 半导体 工艺设备 | ||
【主权项】：
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