[发明专利]位移检测方式的力传感器有效
| 申请号： | 201910435588.6 | 申请日： | 2019-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN110542495B | 公开（公告）日： | 2021-07-20 |
| 发明（设计）人： | 岩竹隆裕;尾高俊一 | 申请（专利权）人： | 发那科株式会社 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 金成哲;宋春华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种位移检测方式的力传感器，其具备缓和由外力以外的因素引起的部件的变形的机构。力传感器具备第一缓和部和第二缓和部中的至少一个，第一缓和部设置在第一基板部、第一连结部、第二基板部和第二连结部中的至少一个，并且能够沿着与第一轴正交的平面弹性变形，第二缓和部设置在第二基板部、第二连结部、第三基板部和第三连结部中的至少一个，并且能够沿着第一轴弹性变形。 | ||
| 搜索关键词： | 位移 检测 方式 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种力传感器，包括：/n第一基板部；/n第二基板部，与所述第一基板部分离配置；/n第三基板部，与所述第二基板部分离配置；/n第一桥梁部，用于对所述第一基板部进行定位；/n第二桥梁部，用于对所述第二基板部进行定位；/n第三桥梁部，用于对所述第三基板部进行定位；/n第一连结部，连结所述第一基板部和所述第一桥梁部；/n第二连结部，连结所述第二基板部和所述第二桥梁部；/n第三连结部，连结所述第三基板部和所述第三桥梁部；/n第一支柱部，连结所述第一桥梁部和所述第二桥梁部；/n第二支柱部，连结所述第二桥梁部和所述第三桥梁部；/n第一检测部，检测所述第一基板部和所述第二基板部的相对位移；以及/n第二检测部，检测所述第二基板部和所述第三基板部的相对位移，/n所述力传感器的特征在于，/n所述第一基板部和所述第一连结部中的至少一方构成为能够弹性变形，/n所述第二支柱部构成为能够弹性变形，/n所述第一检测部将根据所述第一基板部和所述第二基板部的沿着第一轴的相对移动以及所述第一基板部和所述第二基板部的绕沿着与所述第一轴正交的平面的中心轴线的相对旋转中的至少一方而变化的值作为第一检测值进行检测，/n所述第二检测部将根据所述第二基板部和所述第三基板部的沿着与所述第一轴正交的平面的相对移动以及绕沿着所述第一轴的中心轴线的相对旋转中的至少一方而变化的值作为第二检测值进行检测，/n所述力传感器具备第一缓和部和第二缓和部中的至少一个，所述第一缓和部设置在所述第一基板部、所述第一连结部、所述第二基板部和所述第二连结部中的至少一个，并且能够沿着与所述第一轴正交的平面弹性变形，所述第二缓和部设置在所述第二基板部、所述第二连结部、所述第三基板部和所述第三连结部中的至少一个，并且能够沿着所述第一轴弹性变形。/n
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