[发明专利]一种梳齿电容式单轴加速度计在审
| 申请号： | 201910437048.1 | 申请日： | 2019-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN111983258A | 公开（公告）日： | 2020-11-24 |
| 发明（设计）人： | 尹休 | 申请（专利权）人： | 尹休 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 315400 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种梳齿电容式单轴加速度计，包括玻璃衬底、固定极板、敏感质量和止挡结构，所述玻璃衬底的上表面固定安装有固定极板，所述固定极板上挖设有三个呈前后间隔的凹槽，所述固定极板上位于前后两侧的凹槽内各固定安装有一组第一弹性粱单元，所述第一弹性粱单元包括两根左右相互间隔的第一U型梁，所述固定极板上位于中间的凹槽安装固定有第二弹性梁单元，所述第二弹性梁单元包括两根左右相互间隔的第二U型梁，所述第一弹性粱单元、第二弹性梁单元的上方固定安装有敏感质量，所述玻璃衬底焊接固定安装有止挡结构，所述敏感质量上挖设有与止挡结构相匹配的插槽；本装置结构简单，便于增加装置使用效果，提高使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 梳齿 电容 式单轴 加速度计 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于尹休，未经尹休许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910437048.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
