[发明专利]一种镍磷靶材的制备方法

摘要

一种镍磷靶材的制备方法，首先在密闭式真空容器中加热磷颗粒产生磷蒸气，将高温气相磷蒸气通过真空管道和阀门以及盛装镍熔体的坩埚底部通道通入镍熔体中，使在镍熔液中原位生成含5‑50wt％磷的镍磷金属间化合物，最后将镍磷金属间化合物加工成镍磷靶材；本发明中对于产生高温磷蒸气及其产生和通过的真空容器、管道、阀门，真空密封采用不与磷蒸气发生反应的金、银或铜金属密封圈；在磷的加料、发生磷蒸气、磷蒸气的输送及与镍熔体反应生成镍磷金属间化合物的全过程中，整个系统始终保持在与外界隔离的真空状态，以避免磷蒸气凝结生成的剧毒白磷对环境的污染。

主权项

1.一种镍磷靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤:(1)首先将磷块料或磷颗粒通过可在真空中关合的加料阀门放入真空密闭加热室，将真空密闭加热室通过内部或外部热源加热到400‑600℃使其中的磷全部转变为磷蒸气并通过真空阀门进入真空熔炼炉；(2)在真空熔炼炉的坩埚中将镍块熔化，坩埚底部具有与磷蒸气管道连通的孔道，使步骤(1)产生的磷蒸气通过坩埚底部孔道进入镍熔体中并与镍反应生成镍磷金属间化合物，通过控制磷的流量和时间控制镍磷金属间化合物的生成数量和比例；(3)将通入了占总重约8‑20wt％磷的镍合金熔液直接浇铸成铸锭后加工成镍磷靶材。