[发明专利]一种测量垂直结构功率器件阻断电压的装置有效

专利信息
申请号: 201910439705.6 申请日: 2019-05-24
公开(公告)号: CN110208677B 公开(公告)日: 2020-10-16
发明(设计)人: 梁琳;韩鲁斌;陈强;徐宏伟 申请(专利权)人: 华中科技大学;江阴市赛英电子股份有限公司
主分类号: G01R31/28 分类号: G01R31/28
代理公司: 华中科技大学专利中心 42201 代理人: 曹葆青;李智
地址: 430074 湖北*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明公开了一种测量垂直结构功率器件阻断电压的装置,包括阴极钼片、第一缓冲银片和阳极钼片;阴极钼片、第一缓冲银片和阳极钼片从上到下垂直分布,构成层叠结构;待测的垂直结构功率器件位于第一缓冲银片和阳极钼片之间;第一缓冲银片与垂直结构功率器件阴极接触,阳极钼片与垂直结构功率器件阳极接触;阴极钼片作为垂直结构功率器件阴极的外部接触端子;阳极钼片作为垂直结构功率器件阳极的外部接触端子。本发明针对无引出端子的裸芯片结构,通过堆叠的多层金属结构将电极引出,避免了测试压力对金属表面的破坏,且测过程简单,成本低,可靠性高。
搜索关键词: 一种 测量 垂直 结构 功率 器件 阻断 电压 装置
【主权项】:
1.一种测量垂直结构功率器件阻断电压的装置,其特征在于,包括阴极钼片(1)、第一缓冲银片(2)和阳极钼片(3);所述阴极钼片(1)、第一缓冲银片(2)和阳极钼片(3)从上到下垂直分布,构成层叠结构;待测的垂直结构功率器件(6)位于所述第一缓冲银片(2)和所述阳极钼片(3)之间;所述第一缓冲银片(2)与所述垂直结构功率器件(6)的阴极接触,所述阳极钼片(3)与所述垂直结构功率器件(6)的阳极接触;所述阴极钼片(1)作为所述垂直结构功率器件(6)阴极的外部接触端子;所述阳极钼片(3)作为所述垂直结构功率器件(6)阳极的外部接触端子。
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