[发明专利]一种旋转支撑装置及MOCVD系统

摘要

本发明涉及MOCVD技术领域，尤其涉及一种旋转支撑装置及MOCVD系统，旋转支撑装置包括旋转平台和固定轴，旋转平台包括支撑平板和连接端，旋转平台与驱动装置连接，连接端的侧壁设有至少一个第一电极，固定轴为管状，固定轴同轴设置于连接端外侧，固定轴的内壁设有至少一个环状的第二电极，一个第二电极与一个第一电极对应，每个第二电极与其对应的第一电极保持电连接。本发明的旋转支撑装置可在加热过程中使加热装置转动，而并非现有技术的托盘旋转，改善晶片衬底表面温度分布的均匀性，提高外延片的良率，同时旋转支撑装置的转动惯量相对较小，旋转支撑更加平稳。使得大尺寸托盘到加热装置各处的距离较易控制，有效改善了晶片衬底的温度均匀性。