[发明专利]一种基板清洗头及基板清洗装置在审
| 申请号： | 201910440120.6 | 申请日： | 2019-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN110153078A | 公开（公告）日： | 2019-08-23 |
| 发明（设计）人： | 赵德文;李长坤;蒋阳波;刘远航;路新春 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/10;B08B5/04;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 张建纲 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基板清洗头，包括：具有一定厚度的圆盘状基座及同心连接于所述基座下表面的圆形清洁垫，所述基座沿厚度方向具有多个流体通道，所述清洁垫具有多个通孔，每个通孔耦合至不同的流体通道，使得清洗液可经由所述多个通孔中的一部分喷射至基板表面并在与污染物结合后经由另一部分通孔吸走；所述清洁垫的截面半径小于所述基座的截面半径，所述基座的外周侧设置有斜向贯通的冲洗通道，使得冲洗液可通过冲洗通道的上方端口及冲洗通道经由位于清洁垫外侧的下方端口流出，以去除附着于清洁垫外周侧的污染物。 | ||
| 搜索关键词： | 清洁垫 通孔 冲洗通道 基板清洗 流体通道 外周 污染物 基板清洗装置 基座下表面 圆盘状基座 基板表面 上方端口 同心连接 耦合 冲洗液 清洗液 附着 去除 斜向 喷射 流出 贯通 | ||
【主权项】：
1.一种基板清洗头，包括：具有一定厚度的圆盘状基座及同心连接于所述基座下表面的圆形清洁垫，所述基座沿厚度方向具有多个流体通道，所述清洁垫具有多个通孔，每个通孔耦合至不同的流体通道，使得清洗液可经由所述多个通孔中的一部分喷射至基板表面并在与污染物结合后经由另一部分通孔吸走；所述清洁垫的截面半径小于所述基座的截面半径，所述基座的外周侧设置有斜向贯通的冲洗通道，使得冲洗液可通过冲洗通道的上方端口及冲洗通道经由位于清洁垫外侧的下方端口流出，以去除附着于清洁垫外周侧的污染物。
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