[发明专利]一种以掺铌钛酸锶为基底的钛酸铅薄膜的制备方法

摘要

本发明公开了一种以掺铌钛酸锶为基底的钛酸铅薄膜的制备方法，该方法采用水热反应，以钛酸四正丁酯、硝酸铅作为主要原料，氢氧化钾作为矿化剂，室温下强力搅拌，以掺铌的钛酸锶作为基板，然后在高温下进行水热反应，得到钛酸铅薄膜。本发明方法的工艺过程简单，易于控制，成本低，易于规模化生产；该制备方法能够得到表面平整光滑且具有原子级界面的大面积异质外延薄膜，并获得了良好的铁电性能，在铁电存储器、热释电传感器、光波导、微机械和电光开关等领域具有广泛的潜在应用前景。

主权项

1.一种以掺铌钛酸锶为基底的钛酸铅薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：1)将氢氧化钾加入反应釜内胆中，然后加入去离子水溶解，充分搅拌，得到氢氧化钾水溶液；2)在搅拌状态下，向步骤1)制得的氢氧化钾水溶液中加入钛酸四正丁酯，搅拌，得到混合液；3)将硝酸铅溶解于去离子水中，得到硝酸铅水溶液；4)将步骤3)制得的硝酸铅水溶液加入到步骤2)得到的混合液中，加入去离子水，使其体积达到反应釜内胆容积的80‑90％，搅拌至少2h，获得前驱体溶液；5)分别用丙酮、乙醇和去离子水清洗掺铌钛酸锶单晶基底；将该基底固定在聚四氟乙烯支架上，并放入前驱体溶液中；再将装有前驱体溶液的反应釜内胆置于反应釜中，密封，在100‑220℃下保存2‑24h进行水热反应；然后让反应釜自然冷却到室温；卸釜后，用去离子水和无水乙醇洗涤反应产物，过滤，烘干，制得以掺铌钛酸锶为基底的钛酸铅薄膜。