[发明专利]高纯离子水水质监测系统在审
| 申请号： | 201910448653.9 | 申请日： | 2019-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN111157690A | 公开（公告）日： | 2020-05-15 |
| 发明（设计）人： | 季宏兵 | 申请（专利权）人： | 上海微晁自动化科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N33/18 | 分类号： | G01N33/18;G01N35/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 200135 上海市浦东新区南*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高纯离子水水质监测系统，包括TOC检测装置、电导率检测装置、Particle检测装置，它们的进水口通过管道连接有稳压阀的出水管道，稳压阀的进水管道上分别连接有离子水进水装置、循环水进水装置和样品水进水装置的出水口，TOC检测装置、电导率检测装置以及Particle检测装置的出水口通过管道连接有厂务水系统或工作水系统；离子水进水装置和循环水进水装置的出水口还连接有喷淋装置，喷淋装置下方的排水管连接有回收水池，回收水池的出水口与循环水进水装置连接。本发明的水质监测系统可以对水中的有机碳、电导率和微粒数量进行测量，有效的防止半导体或液晶等产品在生产时因水质导致产品不良的现象。 | ||
| 搜索关键词： | 高纯 离子水 水质 监测 系统 | ||
【主权项】：
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