[发明专利]测量设备和处理设备在审

专利信息
申请号: 201910449727.0 申请日: 2019-05-28
公开(公告)号: CN110554402A 公开(公告)日: 2019-12-10
发明(设计)人: 太田健史 申请(专利权)人: 佳能株式会社
主分类号: G01S17/58 分类号: G01S17/58;G01S17/08;G01B11/04;G01P3/36
代理公司: 11038 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人: 汪晶晶
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 本申请涉及测量设备和处理设备。测量设备测量被测对象的位移量或速度,该测量设备包括照射被测对象的照射光学系统,收集从被测对象发射的第一光束和第二光束以便使第一光束和第二光束彼此重叠的收集光学系统,检测其中第一光束和第二光束彼此叠加的叠加光的第一检测器,以及检测从收集光学系统发射的发射光束的部分光束的第二检测器。第二检测器的检测结果根据测量设备与被测对象之间的距离而改变。
搜索关键词: 被测对象 测量设备 收集光学系统 第二检测器 叠加 照射光学系统 第一检测器 处理设备 发射光束 检测结果 发射 位移量 检测 照射 测量 申请
【主权项】:
1.一种测量被测对象的位移量或速度的测量设备,其特征在于,所述测量设备包括:/n照射光学系统,将来自光源的光成形为照射光束并且用照射光束照射被测对象;/n收集光学系统,收集从被测对象发射的第一光束和在不同于第一光束的方向的方向上从被测对象发射的第二光束以使第一光束和第二光束彼此重叠;/n第一检测器,检测在从收集光学系统发射的发射光束中的第一光束和第二光束彼此重叠的叠加光;以及/n第二检测器,检测从收集光学系统发射的发射光束的部分光束,/n其中,第二检测器的检测结果根据测量设备与被测对象之间的距离而改变,以及/n其中,基于第一检测器的检测结果和第二检测器的检测结果,测量设备输出位移量或者速度。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于佳能株式会社,未经佳能株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201910449727.0/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top