[发明专利]测量设备和处理设备在审
申请号: | 201910449727.0 | 申请日: | 2019-05-28 |
公开(公告)号: | CN110554402A | 公开(公告)日: | 2019-12-10 |
发明(设计)人: | 太田健史 | 申请(专利权)人: | 佳能株式会社 |
主分类号: | G01S17/58 | 分类号: | G01S17/58;G01S17/08;G01B11/04;G01P3/36 |
代理公司: | 11038 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 汪晶晶 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本申请涉及测量设备和处理设备。测量设备测量被测对象的位移量或速度,该测量设备包括照射被测对象的照射光学系统,收集从被测对象发射的第一光束和第二光束以便使第一光束和第二光束彼此重叠的收集光学系统,检测其中第一光束和第二光束彼此叠加的叠加光的第一检测器,以及检测从收集光学系统发射的发射光束的部分光束的第二检测器。第二检测器的检测结果根据测量设备与被测对象之间的距离而改变。 | ||
搜索关键词: | 被测对象 测量设备 收集光学系统 第二检测器 叠加 照射光学系统 第一检测器 处理设备 发射光束 检测结果 发射 位移量 检测 照射 测量 申请 | ||
【主权项】:
1.一种测量被测对象的位移量或速度的测量设备,其特征在于,所述测量设备包括:/n照射光学系统,将来自光源的光成形为照射光束并且用照射光束照射被测对象;/n收集光学系统,收集从被测对象发射的第一光束和在不同于第一光束的方向的方向上从被测对象发射的第二光束以使第一光束和第二光束彼此重叠;/n第一检测器,检测在从收集光学系统发射的发射光束中的第一光束和第二光束彼此重叠的叠加光;以及/n第二检测器,检测从收集光学系统发射的发射光束的部分光束,/n其中,第二检测器的检测结果根据测量设备与被测对象之间的距离而改变,以及/n其中,基于第一检测器的检测结果和第二检测器的检测结果,测量设备输出位移量或者速度。/n
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