[发明专利]一种微型电流加热快速退火炉及加热夹具

摘要

本发明公开了一种微型电流加热快速退火炉及加热夹具，属于热处理设备技术领域，主要包括：真空腔体、加热系统、出气管路、进气管路以及泄气管路。加热系统由氧化铝支撑板、电流加热夹具和加热电极构成。本发明可以对固定在夹具上的半导体样品直接通电加热，或把耐热金属片，如钨、钼等固定在夹具上，样品置于金属片上，通电后金属片用焦耳热加热样品。本发明适用于小尺寸样品，可用于不同尺寸的样品进行高真空快速退火、惰性气体氛围退火等。本发明采用电流加热，具有升温速度快、能耗低、占用体积小等特点。

主权项

1.一种微型电流加热快速退火炉，其特征在于，包括保护罩(2)、加热夹具(3)、连接导线(6)、真空密封电极法兰(7)、加热电极正极(8)、加热电极负极(9)、进气管(11)、泄气管(14)、出气管(16)、底座(17)、直流电源线(19)；所述保护罩(2)内部设有加热夹具(3)，保护罩(2)的下端通过真空密封电极法兰(7)固定在底座(17)上，形成真空腔体；所述加热夹具(3)水平悬空放置在支撑板(5)上，支撑板(5)的两端分别连接支撑柱(4)的上部，支撑柱(4)的底部和真空密封电极法兰(7)固连；所述加热夹具(3)的底端通过连接导线(6)分别连接加热电极正极(8)、加热电极负极(9)，加热电极正极(8)、加热电极负极(9)穿过真空密封电极法兰(7)底下的绝缘陶瓷(18)与直流电源线(19)相连，直流电源线(19)和直流电源相连；所述进气管(11)一端连接气体罐，进气管(11)另一端依次设有进气阀(13)、流量计(12)，并与真空腔体相连通；所述泄气管(14)上设有泄气阀(15)并与真空腔体相连通；所述出气管(16)上设有出气阀(20)，出气管(16)一端连通真空腔体，出气管(16)另一端连接真空泵组。