[发明专利]一种掩膜板及其制作方法在审
| 申请号： | 201910452518.1 | 申请日： | 2019-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN110273124A | 公开（公告）日： | 2019-09-24 |
| 发明（设计）人： | 谢志生 | 申请（专利权）人： | 信利（仁寿）高端显示科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C25D1/10 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 廖苑滨 |
| 地址： | 620500 四川省眉山*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种掩膜板及其制作方法，掩膜板包括掩膜板框和固定在掩膜板框上的掩膜本体；所述掩膜本体上设置有掩膜图案，所述掩膜图案包括贯穿所述掩膜本体的通孔，所述掩膜本体与掩膜板框通过电铸方法一体成型。本申请的掩膜本体和掩膜板框是通过电铸一体成型工艺得到的，节省了传统掩膜板制作过程中的张网和焊接制程，减少了张网焊接设备的高额投资，进而降低了掩膜板的制作成本；同时避免了张网加工过程中造成的对位误差和张网不紧等问题，避免了焊接制程中造成的不良和浪费，增强了掩膜板的机械强度，提高了掩膜板的制作良率和效率；提高了有机发光材料的蒸镀质量和良品率。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜板 掩膜本体 张网 掩膜图案 制作 电铸 制程 焊接 一体成型工艺 有机发光材料 传统掩膜 对位误差 焊接设备 一体成型 制作过程 良品率 良率 通孔 蒸镀 贯穿 申请 投资 | ||
【主权项】：
1.一种掩膜板，包括掩膜板框和固定在掩膜板框上的掩膜本体；其特征在于，所述掩膜本体上设置有掩膜图案，所述掩膜图案包括贯穿所述掩膜本体的通孔，所述掩膜本体与掩膜板框为电铸一体成型结构。
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