[发明专利]一种拉晶炉和冷却方法在审
| 申请号： | 201910452591.9 | 申请日： | 2019-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN110029394A | 公开（公告）日： | 2019-07-19 |
| 发明（设计）人： | 全弘湧;全铉国 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;刘伟 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种拉晶炉，包括具有腔室的炉体，设置在腔室内的坩埚，设置在坩埚四周的加热结构，以及设置在加热结构与腔室的内壁之间的隔热材料，还包括用于对所述隔热材料进行冷却的冷却结构，所述冷却结构包括：进气口，设置于所述炉体的顶部，一端通过进气管道与冷却惰性气体储存结构连通；出气口，设置于所述炉体的底部，与排气管道连通、以用于排出所述腔室内的所述冷却惰性气体。本发明还涉及一种冷却方法。 | ||
| 搜索关键词： | 炉体 冷却 冷却惰性气体 隔热材料 加热结构 冷却结构 拉晶炉 腔室 坩埚 连通 进气口 室内 储存结构 进气管道 排气管道 出气口 内壁 排出 | ||
【主权项】：
1.一种拉晶炉，包括具有腔室的炉体，设置在腔室内的坩埚，设置在坩埚四周的加热结构，以及设置在加热结构与腔室的内壁之间的隔热材料，其特征在于，还包括用于对所述隔热材料进行冷却的冷却结构。
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