[发明专利]一种扫描电镜原位电化学检测芯片的多工位样品台在审
| 申请号： | 201910453894.2 | 申请日： | 2019-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN110265280A | 公开（公告）日： | 2019-09-20 |
| 发明（设计）人： | 廖洪钢 | 申请（专利权）人： | 厦门超新芯科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种扫描电镜原位电化学检测芯片的多工位样品台，该多工位样品台包括样品台支架、盛样台、样品台电路板、芯片固定装置、芯排线接头、法兰处电路板、固定法兰和I/O接口；所述样品台支架与所述盛样台同轴设置；所述样品台电路板设置在盛样台顶部；所述芯片固定装置设在盛样台上；所述芯排线接头一端与所述样品台电路板电路连接，另一端与所述法兰处电路板电路连接；所述法兰处电路板与所述固定法兰固定连接；所述I/O接口居中设置在固定法兰上。本发明具有多工位同时观察样品的功能，实现原位电化学检测芯片在不同控电位环境下检测样品随控电位变化的对比，提高了检测效率。 | ||
| 搜索关键词： | 样品台 电路板 多工位 盛样 原位电化学 固定法兰 检测芯片 法兰处 芯片固定装置 电路板电路 样品台支架 排线接头 扫描电镜 电位变化 电位环境 检测样品 居中设置 台本发明 同轴设置 检测 观察 | ||
【主权项】：
1.一种扫描电镜原位电化学检测芯片的多工位样品台，其特征在于：该多工位样品台包括样品台支架、盛样台、样品台电路板、芯片固定装置、芯排线接头、法兰处电路板、固定法兰和I/O接口；所述样品台支架与所述盛样台同轴设置；所述样品台电路板设置在盛样台顶部；所述芯片固定装置设在盛样台上；所述芯排线接头一端与所述样品台电路板电路连接，另一端与所述法兰处电路板电路连接；所述法兰处电路板与所述固定法兰固定连接；所述I/O接口居中设置在固定法兰上。
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