[发明专利]一种窄带光谱滤波结构及其制作方法有效
| 申请号： | 201910454191.1 | 申请日： | 2019-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN110146949B | 公开（公告）日： | 2022-06-14 |
| 发明（设计）人： | 虞益挺;赵建村 | 申请（专利权）人： | 西北工业大学深圳研究院;西北工业大学 |
| 主分类号： | G02B5/28 | 分类号： | G02B5/28;G02B5/08;G03F7/16;G03F7/40;G03F7/42 |
| 代理公司： | 西北工业大学专利中心 61204 | 代理人： | 吕湘连 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区粤海*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种窄带光谱滤波结构及其制作方法，属于集成光电子领域。该结构为基于固定介质层厚度的FP型窄带光谱滤波器结构，器件主要包括顶层布拉格反射镜1、中间介质层2、底层布拉格反射镜3和基底4；所述中间介质层2为低折射率介质材料，其上有亚波长孔阵列2‑1，及其填充在孔阵列内的高折射率介质材料亚波长柱阵列2‑2。基底4为滤波结构提供刚性支撑；布拉格反射镜1、3作为FP腔的上下反射镜；中间介质层2为FP腔的介质材料，通过改变其内部周期性亚波长结构的尺寸，便可控制高低折射率介质材料的比例，进而调节介质层的有效折射率，从而在厚度保持不变的情况下实现高效率窄带宽的多波段光谱滤波效果，同时依据亚波长结构的形状类型，可使得滤波结构具备相应的偏振敏感/无关特性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 窄带 光谱 滤波 结构 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种窄带光谱滤波结构，其特征在于，为基于固定介质层厚度的FP型窄带光谱滤波器结构，主要包括顶层布拉格反射镜1、中间介质层2、底层布拉格反射镜3和基底4；所述顶层布拉格反射镜1为两种高低折射率光学材料组成的多层膜结构，具体的，由一组或多组顶层布拉格反射镜高折射率介质材料层1‑1和顶层布拉格反射镜低折射率介质材料层1‑2间隔排列形成；所述中间介质层2为低折射率介质材料，其上有亚波长孔阵列2‑1，及其填充在孔阵列内的高折射率介质材料亚波长柱阵列2‑2；所述底层布拉格反射镜3由一组或多组底层布拉格反射镜高折射率介质材料层3‑1和底层布拉格反射镜低折射率介质材料层3‑2间隔排列形成。
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