[发明专利]一种抗氧化保护的铜颗粒、烧结铜膏及使用其的烧结工艺有效
申请号: | 201910456136.6 | 申请日: | 2019-05-29 |
公开(公告)号: | CN110211934B | 公开(公告)日: | 2021-07-20 |
发明(设计)人: | 张卫红;刘旭;敖日格力;叶怀宇;张国旗 | 申请(专利权)人: | 深圳第三代半导体研究院 |
主分类号: | H01L23/29 | 分类号: | H01L23/29;H01L23/28;H01L21/56;B22F3/10 |
代理公司: | 北京华创智道知识产权代理事务所(普通合伙) 11888 | 代理人: | 彭随丽 |
地址: | 518051 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及一种表面进行抗氧化保护的铜颗粒、低温烧结铜膏及使用其的烧结工艺。一种表面经抗氧化保护的铜颗粒,其中,利用有机可焊接保护剂对铜颗粒的表面进行修饰,其中,该有机可焊接保护剂为苯并三氮唑、咪唑、苯并咪唑中的至少一种。 | ||
搜索关键词: | 一种 氧化 保护 颗粒 烧结 使用 工艺 | ||
【主权项】:
1.一种表面经抗氧化保护的铜颗粒,其中,利用有机可焊接保护剂对铜颗粒的表面进行修饰,其中,该有机可焊接保护剂为苯并三氮唑、咪唑、苯并咪唑中的至少一种。
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