[发明专利]一种抗氧化保护的铜颗粒、烧结铜膏及使用其的烧结工艺有效

专利信息
申请号: 201910456136.6 申请日: 2019-05-29
公开(公告)号: CN110211934B 公开(公告)日: 2021-07-20
发明(设计)人: 张卫红;刘旭;敖日格力;叶怀宇;张国旗 申请(专利权)人: 深圳第三代半导体研究院
主分类号: H01L23/29 分类号: H01L23/29;H01L23/28;H01L21/56;B22F3/10
代理公司: 北京华创智道知识产权代理事务所(普通合伙) 11888 代理人: 彭随丽
地址: 518051 广东省深圳市*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明涉及一种表面进行抗氧化保护的铜颗粒、低温烧结铜膏及使用其的烧结工艺。一种表面经抗氧化保护的铜颗粒,其中,利用有机可焊接保护剂对铜颗粒的表面进行修饰,其中,该有机可焊接保护剂为苯并三氮唑、咪唑、苯并咪唑中的至少一种。
搜索关键词: 一种 氧化 保护 颗粒 烧结 使用 工艺
【主权项】:
1.一种表面经抗氧化保护的铜颗粒,其中,利用有机可焊接保护剂对铜颗粒的表面进行修饰,其中,该有机可焊接保护剂为苯并三氮唑、咪唑、苯并咪唑中的至少一种。
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